形状测量激光显微系统 - VK-X3000 系列 | 基恩士中国官方网站

产品简介

由基恩士中国提供的 VK-X3000 系列; 采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。

支持按工艺目标、样本类型与通量要求进行选型建议。