缺陷检测与复检 | 芯片制造 | KLA

产品简介

KLA提供的缺陷检测与复检设备同时支持缺陷和在线设备监控：39xx, 29xx, Surfscan, 8 系列，CIRCL, eDR7xxx, Puma。

支持按工艺目标、样本类型与通量要求进行选型建议。