半导体软件解决方案 | KLA

产品简介

KLA 的半导体生态系统软件解决方案可集中并分析检测、计量和工艺系统生成的数据，并探索图案化技术的关键功能设计和可制造性。我们全面的数据分析产品套件使用先进的数据分析、基于 AI 的建模和可视化功能，支持运行时过程控制、缺陷偏移识别、晶圆和光罩排列、扫描仪和过程校正以及缺陷分类等应用。借助我们的图案化模拟软件，研究人员便可以较低成本评估先进的图案化技术，例如 EUV 光刻和多种图案化技术。通过将万亿 GB 的数据提炼为可操作的信息，我们经过 AI 技术增强的数据管理、数据分析和图案模拟系统可帮助芯片、晶圆、光罩和封装制造商提高良率学习率并降低生产风险

支持按工艺目标、样本类型与通量要求进行选型建议。