缺陷检测和复检 | KLA

产品简介

KLA 的缺陷检测和复检系统涵盖晶圆制造环境中的所有质量控制应用，包括工艺开发、生产监控和最终质量控制检查。 专业化的晶圆检测和复检设备，适用于主档硅、外延晶圆、绝缘体上硅、化合物半导体和其他晶圆类型，采用创新的光学技术和 AI 算法来评估晶圆表面的质量，能在生产过程中检测、计数和分类缺陷，并成为出厂晶圆质检的关键部分。这些检测和复检系统是 KLA 数据分析和管理系统的一部分，它们能主动识别会导致良率损失的晶圆/衬底制造工艺偏移。 这些信息能帮助晶圆制造商加速开发并缩短产品上线周期，成功生产高质晶圆。

支持按工艺目标、样本类型与通量要求进行选型建议。